Der Ursprung des heutigen "Instituts für Energietechnik" liegt 1967 in der Gründung des "Instituts für Maschinen- und Anlagentechnik" durch den Zusammenschluss der Lehrstühle für Strömungsmaschinen (Prof. Dr.-Ing. Werner Fister), für Reaktortechnik (Prof. Dr.-Ing. Albert Ziegler) sowie für Mess- Regelungs- und Steuerungstechnik (Prof. Dr. techn. Karl-Heinz Fasol). 1970 wird der Lehrstuhl für Strömungsmaschinen in den besser zutreffenden Namen Lehrstuhl für Fluidenergiemaschinen umbenannt, da der Strukturplan der Ruhr-Universität dem Lehrstuhl je eine Arbeitsgruppe für "Dampf- und Gasturbinen" und "Kolbenmaschinen" zuordnet. Mit der Berufung des Herrn Prof. Dr.-Ing. Heiner Pfost wird das Institut 1974 durch "Dampf- und Gasturbinen" (DGT) ergänzt, "Kolbenmaschinen" fallen jedoch den Sparmaßnahmen des Landes NRW zum Opfer. Als im darauffolgenden Jahr 1975 Prof. Dr.-Ing. Hans Kremer mit seiner Berufung den "Lehrstuhl für Energieanlagen" (LEA) gründet, wird dieser ebenfalls Mitglied des Instituts für Maschinen- und Anlagentechnik. Der Lehrstuhl für Mess-, Regelungs- und Steuerungstechnik schließt sich jedoch im selben Jahr dem Institut für Automatisierungstechnik an.
Der 1975 entstandene Verbund aus Fluidenergiemaschinen (Flem), Reaktortechnik, Dampf- und Gasturbinen (DGT) sowie Energieanlagentechnik (LEAT) nennt sich fortan "Institut für Energietechnik". Im Laufe der Jahre folgt im Lehrstuhl für Fluidenergiemaschinen 1986 Prof. Dr.-Ing. Klaus G. Grahl nach der Emeritierung Prof. Fisters und nach dem frühen Ableben Prof. Grahls 1991 tritt im September 1994 Prof. Dr. ès sc. techn. (EPFL) Horst Stoff die Nachfolge am gleichnamigen Lehrstuhl an.
Am 1.10.2011 wird Herr Prof. Dr.-Ing. habil. Ronald Mailach als Inhaber des Lehrstuhls für Thermische Turbomaschinen an der Ruhr-Universität Bochum berufen.
Er tritt damit die Nachfolge von Herrn Prof. em. Dr. ès sc. techn. (EPFL) Horst Stoff (Lehrstuhl für Fluidenergiemaschinen) an. 2015 Folgt Prof. Mailach dem Ruf auf die Professur für Turbomaschinen und Flugantriebe an die Technische Universität Dresden und am 01.08.2017 tritt Frau Prof. Francesca di Mare die Nachfolge Prof. Mailachs an. Durch die Berufung von Frau Prof. di Mare wird ein starker Akzent auf Methodenentwicklung für Flugtriebwerke gesetzt und dadurch wird das Forschungsthemenportfolio des Lehrstuhls und des Instituts wesentlich erweitert. Die Betrachtung und Bearbeitung zentraler wissenschaftlichen Fragestellungen der Flugantriebe, welche eine besondere Art der thermischen Turbomaschinen darstellen, wird durch die zusätzlichen Kompetenzen, welche dem Forschungsprofil von Frau di Mare gehören, ermöglicht und in November 2017 wird der Lehrstuhl zu „Lehrstuhl für Thermische Turbomaschinen und Flugtriebwerke“ unbenannt.
Nach der Emeritierung Prof. Zieglers im Lehrstuhl für Reaktortechnik gründet Prof. Dr.-Ing. Hermann Unger 1987 den "Lehrstuhl für Nukleare und Neue Energiesysteme" (NES), den er nach seiner Pensionierung (Sept.1999) bis Ende August 2001 kommissarisch verwaltet. Ihm folgt Prof. Dr.-Ing. Hermann-Josef Wagner. Er führt den Lehrstuhl für "Ökologisch verträgliche Energiewirtschaft" (ÖVE) der Universität Essen mit dem Lehrstuhl Prof. Dr. Ungers zusammen und gründet den "Lehrstuhl für Energiesysteme und Energiewirtschaft" (LEE).
Prof. Dr.-Ing. H. Pfost lenkt die Geschichte des Lehrstuhls für Dampf- und Gasturbinen bis zu seiner Pensionierung im Frühjahr 2000. Kommissarisch vertritt er weiterhin seinen Lehrstuhl über dieses Datum hinaus. In der Vergangenheit leitete er auch den Lehrstuhl für Fluidenergiemaschinen während der Jahre der Vakanzen. Mit dem Oktober 2003 übernahm Hr. Prof. Dr.-Ing. Wolfgang Eifler die Stelle von Hr. Prof. Dr.-Ing. H. Pfost. Der Lehrstuhl wurde dabei in "Verbrennungsmotoren" umgewidmet, womit ein neues Lehr- und Forschungsfeld am Institut für Energietechnik gegründet wurde. Die Forschungsarbeiten an Dampf- und Gasturbinen werden vom Lehrstuhl für Fluidenergiemaschinen (heute Thermische Turbomaschinen und Flugtriebwerke) weitergeführt.  
Prof. Kremer emeritiert im Frühjahr 1999 am Lehrstuhl für Energieanlagentechnik und vertritt ihn kommissarisch bis zur Berufung seines Nachfolgers, Prof. Dr.-Ing. Viktor Scherer, der zu der vorhandenen Thematik auch die Verbrennungsforschung Prof. Pfosts mit Anwendung in Gasturbinen (heute weitergeführt von Frau Prof. di Mare) übernimmt und den Lehrstuhl ab dem Jahr 2000 unter dem Namen "Energieanlagen und Energieprozesstechnik" (LEAT) weiterführt.  
Mitglied des Instituts für Energietechnik ist seit Ende der 80er Jahre auch Prof. Dr.-Ing. Heinrich B. Weyer vom Institut für Antriebstechnik am Deutschen Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) in Köln-Porz sowie ab Frühjahr 2004 auch sein Nachfolger Prof. Dr.-Ing. Reinhard Mönig.  
Prof. Dr.-Ing. Enno F. Hicken mit seinem Institut für Sicherheitsforschung und Reaktortechnik im Forschungszentrum Jülich gehörte von Anfang der 90er Jahre bis zu seinem Eintritt in den Ruhestand im Jahre 2001 dem Institut für Energietechnik an.
Im Juni 2018 schließt sich die neu gegründete Arbeitsgruppe Plant Simulation and Safety (PSS) unter der Leitung von
Prof. Dr.-Ing. Marco K. Koch dem Institut an. Die Gruppe befasst sich mit der zentralen Frage der Anlagensicherheit in der Energietechnik.